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怎樣避免靶面電?。ù蚧穑┑漠a生?

電弧的危害是什么?


電弧發生時,如果不加處置,一定伴隨著靶面上某一點上極高的電流密度,這將引起該點上的高溫小范圍內將靶材融化并噴射出來,導致損壞靶材及基片。同時,抑弧關斷又會對穩定工藝造成影響。

如何避免電弧發生?


電弧的發生取決于靶材種類、腔室環境及工藝等多種因素,難以絕對避免電弧發生。

合理的腔室及濺射系統設計、良好的靶材性能及靶面清潔等,這些措施會對減少電弧的發生起到關鍵性作用。

電弧出現后,如何減少電弧造成的影響?


1)為了減少打弧產生的危害,通常采取的措施是在打弧發生之后,對電源進行關斷,抑制打弧電流的上升;并使等離子體在電源恢復輸出后,快速重新回到正常的工作狀態

2)用合適的檢測方式,快速準確的檢測到電弧,在電流上升到到較高值之前進行關斷對于減少電弧危害至關重要。

3)關斷后通過電路設計,在更短的時間進行有效抑弧,減少對工藝的影響。


那么多種打弧檢測方式,哪種檢測方式最好?

實際上不同的檢測方式針對不同的工藝情況、不同類型的電弧以及不同的等離子狀態。很難說哪一種最好。但隨著電子技術的發展,全數字式的運算和更高精度的采樣,為更精確的打弧檢測方式的實現提供了可能。


怎樣理解電弧能量的概念?

電弧能量反映了電源從電弧發生后,檢測到電弧,采取關斷措施,到電弧熄滅著整個過程中電弧釋放的能量。

減少打弧能量要求電源在電弧形成最初的時候就需要準確可靠的檢查到電弧,更快的采取措施,同時在關斷后更快速的盡快。

 

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